wafer晶圓顆粒缺陷檢查燈LUYOR-3325G系列是一款黃綠光表面檢查燈,檢測燈的原理利用適合的LED燈源,通過led發(fā)光,經(jīng)過光學(xué)透鏡聚焦的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點(diǎn),取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機(jī)臺,直接通過照明光線和肉眼,觀測出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵,極大的節(jié)省了一般工廠的采購成本。 LUYOR-3325G檢查燈采用人眼***敏感580NM之間波長光,來做***簡單與明確的判別,可檢查到1um以下的刮痕或微粒子,幾乎可檢測出所有塵埃,大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬小時以上。光源強(qiáng)度可達(dá)30萬LX,***小可以檢測1μ的表面臟污,比傳統(tǒng)的檢查燈,效用增強(qiáng)10倍.LUYOR-3325G可根據(jù)使用場景,使用便攜手持式或桌面式(安裝再臺式支架上)。
LUYOR-3325G為交流電源供電,可以手持式操作,也可以臺式操作。
LUYOR-3325GD為鋰電池供電,可以手持式操作,也可以臺式操作。
晶圓檢測:用于晶圓測試的黃綠光LED檢測燈,LUYOR-3325G專為晶圓質(zhì)量保證和測試而設(shè)計的光學(xué)晶圓檢測設(shè)備。
使用黃綠光檢查燈進(jìn)行晶圓檢測:
使用無紫外線輻射的黃綠光燈進(jìn)行晶圓檢測
更換用于晶圓檢測的紫外燈
在不使用汞蒸氣燈的情況下測試晶圓
設(shè)計為濾波綠光燈或濾光黃光燈,用于晶圓檢測
使用無紫外線和無汞的SECU-CHEK晶圓測試燈進(jìn)行晶圓表面檢測
為什么使用LUYOR-3325G半導(dǎo)體檢測燈進(jìn)行晶圓表面檢測?
晶圓生產(chǎn)所需的高工藝可靠性
需要經(jīng)濟(jì)高效且無故障的測試操作
晶圓測試對于晶圓制備和芯片生產(chǎn)的進(jìn)一步成本密集型步驟至關(guān)重要
根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的專業(yè)解決方案
晶圓生產(chǎn)中存在哪些誤差,LUYOR-3325G半導(dǎo)體檢測燈的識別能力如何?
使用過濾后的黃光燈可以很好地檢測到晶圓的缺陷
通過晶圓測試檢測夾雜物
通過目視晶圓測試檢測污染物
用黃綠光觀察生長障礙
在光學(xué)晶圓測試期間識別面紗
使用LUYOR晶圓檢測燈分析條紋
與用于晶圓測試的紫外燈和汞燈相比,可以更好地檢測微觀結(jié)構(gòu)
通過晶圓檢測檢測生長孔
檢查黃綠色燈的高對比度邊緣變平
在光學(xué)晶圓檢測中可以發(fā)現(xiàn)邊緣干擾
使用晶圓上的質(zhì)量檢測燈檢測結(jié)構(gòu)變化
使用紫外黃光和綠光燈檢測晶圓生產(chǎn)中的夾雜物
用過濾后的黃光燈識別不均勻